半导体产业是国家战略性新兴产业，其核心技术自主可控对于国家安全和产业发展至关重要。半导体产业链包括设计、制造、封装测试等多个环节，其中每个环节都需要使用到各种分析仪器；随着半导体产业的快速发展，对分析仪器的需求不断增加。然而，目前半导体行业中的一些高端分析仪器仍依赖进口，这在一定程度上限制了我国半导体产业的自主可控能力。因此，国产分析仪器在半导体产业中的应用突破成为提升技术自主可控水平的关键一环。
近期，谱育科技EXPEC 7350S ICP-MS/MS在国内半导体头部企业实现了国产应用新突破，特别是在解决电子级化学品杂质和晶圆表面金属离子沾污的测试方面，展现出了显著的优势，成为有效替代进口解决方案的国产仪器。
近年来，随着硅片尺寸的不断扩展以及半导体元件临界尺寸的显著缩减，制造工艺的严苛性达到了前所未有的高度。这一趋势直接促使对硅片表面污染元素的控制标准日益严苛。为了确保硅片表面的污染元素含量维持在最低水平，其生产流程以及半导体元件制造的各个环节均需实施严格的污染控制措施，力求将污染降至最低限度。与此同时，生产过程中所使用的各类化学品的杂质含量也需受到严密的监测与管理，以确保其质量符合高标准要求。据相关数据统计，半导体元件制造业中高达50%的产率损失可归咎于微量杂质污染，这一数据凸显了控制污染元素对于提升半导体制造业产率的重要性。
作为国产首套商用三重四极杆ICP-MS/MS，EXPEC 7350S凭借其超低的检出能力、强大的干扰去除能力和灵活的搭配组合等优势，有效实现了电子级化学品杂质和晶圆表面金属离子的检测。
电子级化学品包括超纯水、氨水、双氧水、氢氟酸、硝酸、盐酸、硫酸、磷酸等无机试剂，有机试剂如粘稠的光刻胶和液晶材料，强挥发性的丙酮、甲醇、甲苯、二甲苯、IPA等清洗溶剂，强碱性的TMAH等剥蚀试剂等，其种类繁多，分析方法各异，给分析带来较大难度。随着国内逐步迈向先进制程，对化学品纯度也在逐步提高，目前大多使用G5化学品，其每种杂质元素要求＜10ng/L（10-11）。面对基质各异及杂质元素要求极低的超高纯化学品，新一代的三重四极杆EXPEC 7350S型ICP-MS可以有效覆盖G3~G5级化学品的质控要求。在国内先进制程芯片制造企业和8+12英寸集成电路制造企业实现了G5级硝酸、氢氟酸、双氧水、IPA等试剂的过程品控。
相较于国际主要产能的300mm（12英寸）硅片，国内单品硅工业产品还有很多是直径150mm(6英寸)和200mm(8英寸)，近些年来随着国家的产业扶持，国内半导体产业快速发展，300mm硅片迅速崛起并占主导地位。且随着国内28nm制程工艺的成熟，逐步开发7~14nm的先进制程，对晶圆表面金属离子的要求越发严格。谱育自主研发的EXPEC 7350S型三重四极杆ICP-MS搭配组合的自动化分析方案，晶圆表面金属离子检出能力可以达到5E6~5E7atoms/cm2，可以有效替代国内FAB现有的进口分析方案。目前在国内领先的12寸硅片制造企业和化合物半导体制造企业实现了VPD与7350S组合方案，自动化监测晶圆表面金属离子沾污，满足8~12寸硅片制造企业和化合物半导体制造企业的品控要求。
在半导体高端仪器市场长期由国外厂商主导的背景下，谱育科技所取得的突破无疑具有深远的意义。为了满足半导体行业的独特需求，谱育科技进行了深度定制与优化。通过在超净环境中开展严苛的应用数据验证，谱育科技确保了其仪器在极端洁净条件下的稳定性和可靠性，从而为半导体行业的研发创新与生产制造提供了坚实有力的技术支撑。
当前，谱育科技已构建了一整套涵盖半导体制程金属离子检测、微污染气体监控以及半导体特气分析等行业解决方案。此外，公司还积极携手国内众多科研机构与高等学府，深入推动科研合作与人才培养项目，为我国科学仪器在高精尖行业的持续蓬勃发展奠定更加坚实的基础。
作为“国家重大科学仪器设备开发专项”的标志性成果，自2013年成功推出首台单四极杆ICP-MS以来，历经四次迭代升级，不断在核心技术与性能指标上实现突破与创新。随后，谱育科技更是引领行业，发布了国内首台商用三重四极杆ICP-MS及高分辨ICP-QTOF，以其更高的灵敏度和更低的检出限树立了新的标杆。随着市场需求的不断细分与增长，谱育科技紧跟时代步伐，相继推出了移动车载在线监测、临床质谱、实验室自动化等一系列创新应用场景及产品，精准满足用户的定制化分析检测需求。同时，公司积极拓展临床诊断、生命科学、半导体分析、工业自动化等新兴领域，展现了强大的市场洞察力和创新能力。
历经十余载的市场洗礼与考验，谱育科技赢得了广大用户的广泛赞誉与信赖，国产ICP-MS成功实现了从“追赶”到“并跑”的历史性跨越。2023年底，在青山湖创新基地，谱育科技迎来了第1000套7000系列ICP-MS正式下线的历史性时刻，标志着质谱仪器的“国产替代”进程取得了里程碑式的突破。
步入2024年，谱育科技ICP-MS的销量持续领跑国产市场，与进口品牌形成了强有力的竞争态势。这一辉煌成就的取得，既是谱育科技在技术研发上持续深耕、不断创新的必然结果，也是其精准把握市场需求、灵活应对市场变化的生动体现。
