近日,在《中国科学报》上,由中国科学院院士、北京大学电子学院院长彭练矛撰文表示:当前,云计算、大数据、人工智能、个性化医疗和健康监控领域,以及未来数字化和智慧化的发展,都离不开芯片。毫不夸张地说,芯片就是现代技术的驱动力,没有芯片就没有中国未来的现代化。
国产芯片如何提高品质已成破局关键。对国内半导体产业而言,能否提升良率,降低成本是发展的决定性因素。具有更高纯度的超纯水是保障芯片良率和高效生产的基石之一,先进的水资源利用方案则可以保障公司低成本可持续发展战略的实施。
芯片品质如何提高,制程工艺成关键
芯片厂商为实现良率赶超,对整体制造要求十分苛刻,工序繁琐。即便每道工序良率在99.99%,经过500道工序叠加,最终的良品率也才能超过95%;同理,如果每道工序的良品率下降至99.98%,最终的总良品率跌降至90%。因此,制程中对工艺的挑战要求几乎“零缺陷”,清洗步骤作为贯穿整个流程的关键环节,就成为保证芯片生产良品率主要因素。
据了解,以60nm制程为例,清洗工艺约有100个步骤,20nm-5nm等先进制程里清洗工艺约有200以上道步骤,随着工艺制程越高,需要的清洗工艺环节越多,清洗频率也越高;同时随着半导体工艺节点的缩小,整个清洗步骤次数约以15%的速度增加，由此可见,水质的好坏与芯片的良品率和合格率密切相关。
深耕超纯水领域,助力芯片企业快速发展
高频科技在超纯水领域深耕二十余年,以科技创新为本,不断突破关键技术壁垒,目前已经积累知识产权成果超50项,发明专利及实用新型专利超30项,软件著作权20多项。高频科技所设计研发的超纯水系统涉及超过18项专业处理工艺环节、8次增压提升,保证产水水质接近绝对纯度,电导率无限接近18.24MΩ的理论极限值,其纯度可达99.9999999999%,以电子级高端品系超纯水为先进制程产品生产提供保障。
凭借深耕纯度与水循环技术,高频科技助力本土芯片产业发展。作为立足于超纯工艺能力的工业级技术服务商,高频科技通过提供领先的超纯水与循环再生解决方案及装备,助力半导体企业提升良品率和水资源利用效率,实现高效可持续发展,赋能半导体产业提速发展;致力于为半导体高端制造等行业客户,提供领先的超纯水与循环再生解决方案及装备。
高频科技超纯水制备标准如下:电阻率(25摄氏度)≥18.24MΩ·厘米;总有机碳小于0.5微克/升;溶解氧小于1微克/升;大于0.05微米的微粒每升小于100个;细菌含量小于1/100毫升;总硅含量小于0.5微克/升;溶解硅含量小于0.3微克/升;硼含量小于0.005微克/升。
在半导体制程中,超纯水不仅要求纯净,还要求稳定和可靠。任何水质的波动或变化都可能导致制程的不稳定性和产品的不合格。因此,超纯水的质量控制必须非常严格,包括对水质的监测、调节和维护等方面。如果单纯依靠人工管理,无疑费时费力,同时还难以实现数据驱动决策。基于此,高频科技依托大批自有优秀半导体水系统专家的资深经验,创立标准化运维专家模型,为半导体工厂量身定制一体化运维服务体系。借助该系统,半导体企业可以实现常规周期巡检、可预见养护、应急故障处理等,满足全周期运维需求,实现规范管理、降本增效。此体系将逐步实现专家数据化,让企业运维管理更加省事和舒心,同时以数据化提升决策能力和响应速度。
半导体产业是经济发展的重要支撑,也是科技创新的核心驱动力。在半导体制造过程中,清洗硅片及半导体材料所使用的超纯水,已经成为影响电子元器件产品质量和成品率的关键材料之一。相信高频科技在内的超纯水企业,将继续秉持着高度的责任感和使命感,不断提升超纯水技术的研发创新能力,为半导体先进制程的可靠性和稳定性生产提供支持,为半导体产业的全新发展之路做出新的贡献。
