汇专超声方案实现半导体CVD碳化硅喷淋盘D1.0/D0.5mm阶梯孔加工瓶颈新突破

2025-07-16 22:10:00     来源:

近日,汇专在硬度达HV3,150的CVD碳化硅喷淋盘钻孔加工中实现创新突破,D1.0/D0.5mm阶梯孔加工时间仅5分58秒,对比国外加工技术加工时间缩短47.8%,刀具寿命提升160%,加工成本降低50%,显著提升半导体关键零部件的生产效能!

一、工件信息

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材料:碳化硅(HV3,150)

加工特征:D1.0*6.9mm/ D0.5*5.5mm阶梯孔

CVD碳化硅喷淋盘具有高硬脆的难加工特性,加工周期长、加工成本高。目前,高精度碳化硅喷淋盘仍需要依赖国外进口。

在本项目中,工件硬度高达HV3,150,加工孔径小,钻削加工难度极高,使用传统加工方案容易产生崩缺现象,并且刀具寿命短,刀具容易折断并残留在孔内,导致工件报废。

二、汇专方案

汇专采用超声绿色雕铣加工中心MEM-600,结合超声振幅测量仪超声冷压刀柄高效飞速PCD钻头的整体解决方案进行加工。

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三、加工效果

(1)加工时间

汇专超声方案加工D1.0/D0.5mm阶梯孔,加工时间仅5分58秒,加工效率提升47.8%

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(2)刀具寿命

高效飞速PCD钻头更耐磨,超声加工模式下可稳定加工520个孔,刀具寿命提升160%

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(3)加工成本

单个工件加工成本大幅降低50%

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(4)孔真圆度

客户目标值≤0.01mm,汇专超声方案加工真圆度均满足要求,D1.0孔真圆度优于目标值37%,D0.5孔真圆度优于目标值59%

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(5)孔位置度

汇专超声方案加工,D1.0孔位置度优于目标值80%,D0.5孔位置度优于目标值26%

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(6)孔同心度

汇专超声方案加工,孔同心度优于目标值48%

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(7)孔垂直度

汇专超声方案加工,D1.0孔垂直度优于目标值34%,D0.5孔垂直度优于目标值22%

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(8)孔壁粗糙度

客户目标值Sa≤0.1μm,汇专超声方案加工,D1.0孔平均粗糙度Sa 0.037μm优于目标值63%,D0.5孔平均粗糙度Sa 0.036μm,优于目标值64%

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(9)孔口崩边量

使用显微镜放大至50倍检测,孔口崩边量≤0.02mm

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四、加工视频

目前,汇专超声绿色雕铣加工中心、超声冷压刀柄及PCD钻头等产品在半导体行业中应用广泛,在碳化硅、单晶硅、多晶硅、石英玻璃、铝基碳化硅、氧化铝、铝合金等多种半导体材料中实现高效高质低成本加工。如您有相关加工需求,欢迎联系我们!


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